無塵車間驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)(www.lunweny.com)及測(cè)試

控制無塵車間空氣參數(shù)的目的—檢查無塵車間是否符合給定的潔凈度級(jí)別。無論是在投產(chǎn)調(diào)試工作完成后的無塵車間檢測(cè)階段，還是無塵車間使用階段都要完成空氣參數(shù)的控制工作。在各種標(biāo)準(zhǔn)和建議（16）中都詳細(xì)地制訂了和提出了無塵車間空氣參數(shù)的測(cè)試和控制方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財(cái)富。

在無塵車間內(nèi)，按其用途的不同應(yīng)控制下列參數(shù)：

1、測(cè)試狀態(tài)的確定

2、空氣中粒子的濃度

3、氣流的風(fēng)速和單向性（對(duì)單向氣流而言）

4、風(fēng)量和換氣次數(shù)

5、最終過濾器的整體性

6、空氣溫度和濕度

7、無塵車間的密閉性

8、無塵車間表面的潔凈度

測(cè)試狀態(tài)的確定：根據(jù)設(shè)計(jì)要求，一般無塵車間都是對(duì)無塵車間內(nèi)的空氣進(jìn)行靜態(tài)檢測(cè)，一般不做動(dòng)態(tài)檢測(cè)，如需動(dòng)態(tài)檢測(cè)，需要制定或參照其他標(biāo)準(zhǔn)。

空氣粒子濃度的檢測(cè)

潔凈度級(jí)別

無塵車間和潔凈區(qū)均按一項(xiàng)指標(biāo)劃分級(jí)別—一定粒徑粒子的最大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數(shù)）。

空氣潔凈度級(jí)別和空氣潔凈度的測(cè)定方法均按下表中的規(guī)定確定，根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，無塵車間的潔凈級(jí)別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的最大允許濃度確定的。

在確定實(shí)際無塵車間的潔凈度級(jí)別時(shí)，應(yīng)對(duì)粒徑≥閥值的粒子進(jìn)行統(tǒng)計(jì)，下面的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。

所列為整數(shù)級(jí)別序數(shù)N和最常見值D的粒子最大允許濃度

潔凈度級(jí)別表示實(shí)例

ISO 4級(jí)；靜態(tài)；給定粒徑0.5微米（352粒子/m3）。

ISO 5級(jí)；靜態(tài)；給定粒徑0.5微米（3520粒子/m3）；5.0微米（29粒子/m3）。

因此，在測(cè)試具體的無塵車間的相應(yīng)潔凈度級(jí)別時(shí)，不需要檢測(cè)如上表所示的該級(jí)別的所有粒子粒徑。而只要檢測(cè)為該種無塵車間給定的粒子粒徑。

測(cè)定潔凈度級(jí)別的方法

在檢測(cè)無塵車間的潔凈度級(jí)別時(shí)，應(yīng)測(cè)定無塵車間內(nèi)1點(diǎn)或數(shù)點(diǎn)的懸浮粒子濃度（即取樣點(diǎn)的粒子濃度）。

因此必須滿足下列要求

1）確認(rèn)無塵車間的狀態(tài)與給定的相符；

2）確定給定粒徑，無塵車間取樣點(diǎn)的數(shù)量和位置；

3）確定每一取樣點(diǎn)的取樣數(shù)量；

4）確定對(duì)每一種給定粒徑在每1取樣點(diǎn)上，每1次取樣的取樣量和取樣時(shí)間；

5）取樣之后應(yīng)對(duì)每一種給定粒徑的粒子進(jìn)行相應(yīng)統(tǒng)計(jì)；

6）將取樣數(shù)據(jù)填入按各種給定粒徑統(tǒng)計(jì)的粒子統(tǒng)計(jì)記錄表內(nèi)（適于采用無計(jì)算機(jī)軟件的粒子計(jì)數(shù)器的場(chǎng)合下）；

7）整理取得的數(shù)據(jù)；

8）對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析；

9）整理方案確定級(jí)別應(yīng)符合上表要求。

氣流的檢測(cè)

在無塵車間中的氣流：

氣流風(fēng)速（通常是控制單向氣流的風(fēng)速）

氣流均勻性（單向氣流風(fēng)速穩(wěn)定性）并目視檢查氣流。

空氣（單向氣流）的風(fēng)速和風(fēng)量

空氣單向氣流的風(fēng)速是在垂直于氣流方向的平面上并距離風(fēng)源150-500mm處測(cè)得的。

測(cè)試點(diǎn)的數(shù)量應(yīng)大于被測(cè)表面面積的平方根，但不得小于3，應(yīng)在每一個(gè)設(shè)定的網(wǎng)格中進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量點(diǎn)應(yīng)均勻地分布在平面上。

應(yīng)在距離過濾器表面150mm處測(cè)試過濾器出口處的風(fēng)速。在評(píng)價(jià)氣流的均勻性時(shí)，應(yīng)在距離過濾器表面300mm以上處測(cè)試風(fēng)速。

每1點(diǎn)的測(cè)量時(shí)間不得少于10秒。并且要確定平均值，最大和最小值。

氣流的均勻性

根據(jù)在垂直于空氣運(yùn)動(dòng)方向的平面上各點(diǎn)的風(fēng)速測(cè)試數(shù)據(jù)，評(píng)價(jià)單向氣流的均勻性，建議該平面應(yīng)距離過濾器表面（風(fēng)口）300毫米以上。

平面上各點(diǎn)處的風(fēng)速相差不得超過20%-30%。

檢驗(yàn)過濾器的整體性

最終過濾器（HEPA，ULPA過濾器）是無塵車間的重要部分。這些過濾器安設(shè)在無塵車間的吊頂和墻上，裝在設(shè)備和風(fēng)管內(nèi)。應(yīng)進(jìn)行泄漏檢查，以控制過濾器的整體性，過濾器的滲漏意味著粒子的滲漏，會(huì)超過ГOCTP5125-99。

制造商應(yīng)在廠內(nèi)對(duì)過濾器作最大穿透粒徑試驗(yàn)，附過濾器檢測(cè)報(bào)告，現(xiàn)場(chǎng)不做檢漏。

溫度的檢測(cè)

在無塵車間內(nèi)采用兩種方法控制溫度：

n 一般控制

n 特殊控制

（一般控制）在通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)投產(chǎn)-調(diào)試時(shí)，以及在無塵車間檢測(cè)的各個(gè)階段和使用階段均要進(jìn)行溫度的一般控制。

規(guī)定工作席工作區(qū)高度處的溫度，以及必要時(shí)，其他工作點(diǎn)的溫度都要加以控制。

在1小時(shí)或更多一些的時(shí)間內(nèi)應(yīng)周期性的連續(xù)測(cè)試6分鐘。

相對(duì)濕度的控制

待通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)工作穩(wěn)定后，相對(duì)濕度的控制可與溫度的測(cè)量同時(shí)進(jìn)行。

至少在每一處對(duì)相對(duì)濕度有要求的區(qū)域內(nèi)設(shè)1個(gè)點(diǎn)進(jìn)行相對(duì)濕度的測(cè)量，為了使傳感器持續(xù)穩(wěn)定，測(cè)量的持續(xù)時(shí)間不得少于6分鐘。

潔凈實(shí)驗(yàn)室技術(shù)指標(biāo)

格式1（式樣）

記錄書

    工段，       無塵車間取樣                                            

取樣時(shí)期                                                                  

房間狀態(tài)                                                                  

（空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)）

給定潔凈度級(jí)別                                                            

給定閥徑粒徑，微米                                                        

粒子的最大允許濃度，粒子/m3                                                

取樣量，升                                                                

取樣時(shí)間，分鐘                        

取樣點(diǎn)數(shù)量r                                                                

每1取樣點(diǎn)上的取樣次數(shù)，P                                                  

粒子計(jì)數(shù)器                                                                

取樣點(diǎn)位置示意圖

3                                   2

                5

1                                                                                  4

取樣者                                                                      

               （簽字）