無塵車間驗收標準(www.lunweny.com)及測試

控制無塵車間空氣參數的目的—檢查無塵車間是否符合給定的潔凈度級別。無論是在投產調試工作完成后的無塵車間檢測階段，還是無塵車間使用階段都要完成空氣參數的控制工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地制訂了和提出了無塵車間空氣參數的測試和控制方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。

在無塵車間內，按其用途的不同應控制下列參數：

1、測試狀態的確定

2、空氣中粒子的濃度

3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）

4、風量和換氣次數

5、最終過濾器的整體性

6、空氣溫度和濕度

7、無塵車間的密閉性

8、無塵車間表面的潔凈度

測試狀態的確定：根據設計要求，一般無塵車間都是對無塵車間內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要制定或參照其他標準。

空氣粒子濃度的檢測

潔凈度級別

無塵車間和潔凈區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的最大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。

空氣潔凈度級別和空氣潔凈度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，無塵車間的潔凈級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的最大允許濃度確定的。

在確定實際無塵車間的潔凈度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下面的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。

所列為整數級別序數N和最常見值D的粒子最大允許濃度

潔凈度級別表示實例

ISO 4級；靜態；給定粒徑0.5微米（352粒子/m3）。

ISO 5級；靜態；給定粒徑0.5微米（3520粒子/m3）；5.0微米（29粒子/m3）。

因此，在測試具體的無塵車間的相應潔凈度級別時，不需要檢測如上表所示的該級別的所有粒子粒徑。而只要檢測為該種無塵車間給定的粒子粒徑。

測定潔凈度級別的方法

在檢測無塵車間的潔凈度級別時，應測定無塵車間內1點或數點的懸浮粒子濃度（即取樣點的粒子濃度）。

因此必須滿足下列要求

1）確認無塵車間的狀態與給定的相符；

2）確定給定粒徑，無塵車間取樣點的數量和位置；

3）確定每一取樣點的取樣數量；

4）確定對每一種給定粒徑在每1取樣點上，每1次取樣的取樣量和取樣時間；

5）取樣之后應對每一種給定粒徑的粒子進行相應統計；

6）將取樣數據填入按各種給定粒徑統計的粒子統計記錄表內（適于采用無計算機軟件的粒子計數器的場合下）；

7）整理取得的數據；

8）對結果進行分析；

9）整理方案確定級別應符合上表要求。

氣流的檢測

在無塵車間中的氣流：

氣流風速（通常是控制單向氣流的風速）

氣流均勻性（單向氣流風速穩定性）并目視檢查氣流。

空氣（單向氣流）的風速和風量

空氣單向氣流的風速是在垂直于氣流方向的平面上并距離風源150-500mm處測得的。

測試點的數量應大于被測表面面積的平方根，但不得小于3，應在每一個設定的網格中進行測量，測量點應均勻地分布在平面上。

應在距離過濾器表面150mm處測試過濾器出口處的風速。在評價氣流的均勻性時，應在距離過濾器表面300mm以上處測試風速。

每1點的測量時間不得少于10秒。并且要確定平均值，最大和最小值。

氣流的均勻性

根據在垂直于空氣運動方向的平面上各點的風速測試數據，評價單向氣流的均勻性，建議該平面應距離過濾器表面（風口）300毫米以上。

平面上各點處的風速相差不得超過20%-30%。

檢驗過濾器的整體性

最終過濾器（HEPA，ULPA過濾器）是無塵車間的重要部分。這些過濾器安設在無塵車間的吊頂和墻上，裝在設備和風管內。應進行泄漏檢查，以控制過濾器的整體性，過濾器的滲漏意味著粒子的滲漏，會超過ГOCTP5125-99。

制造商應在廠內對過濾器作最大穿透粒徑試驗，附過濾器檢測報告，現場不做檢漏。

溫度的檢測

在無塵車間內采用兩種方法控制溫度：

n 一般控制

n 特殊控制

（一般控制）在通風空調系統投產-調試時，以及在無塵車間檢測的各個階段和使用階段均要進行溫度的一般控制。

規定工作席工作區高度處的溫度，以及必要時，其他工作點的溫度都要加以控制。

在1小時或更多一些的時間內應周期性的連續測試6分鐘。

相對濕度的控制

待通風空調系統工作穩定后，相對濕度的控制可與溫度的測量同時進行。

至少在每一處對相對濕度有要求的區域內設1個點進行相對濕度的測量，為了使傳感器持續穩定，測量的持續時間不得少于6分鐘。

潔凈實驗室技術指標

格式1（式樣）

記錄書

    工段，       無塵車間取樣                                            

取樣時期                                                                  

房間狀態                                                                  

（空態、靜態、動態）

給定潔凈度級別                                                            

給定閥徑粒徑，微米                                                        

粒子的最大允許濃度，粒子/m3                                                

取樣量，升                                                                

取樣時間，分鐘                        

取樣點數量r                                                                

每1取樣點上的取樣次數，P                                                  

粒子計數器                                                                

取樣點位置示意圖

3                                   2

                5

1                                                                                  4

取樣者                                                                      

               （簽字）