無塵室環(huán)境檢測標(biāo)準(zhǔn)

1. 目的  

　規(guī)范無塵室內(nèi)環(huán)境檢測方法及判定作業(yè)。

2. 范圍  

　適用于公司所有無塵室的環(huán)境檢測作業(yè)。

3.職責(zé)

 3.1 無塵室管事部: 負(fù)責(zé)無塵室的定期檢測及檢測數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)分析,無塵室檢測異常的提出。

 3.2 生產(chǎn)部: 負(fù)責(zé)對無塵室的日常維護(hù)及保養(yǎng)。

 3.3 機(jī)電部:負(fù)責(zé)無塵室高效及低效過濾網(wǎng)的更換及維修。

 3.4設(shè)備部：負(fù)責(zé)無塵室的定期保養(yǎng),新過濾網(wǎng)的請購。

4.內(nèi)容  

 4.1 無塵室落塵檢測：

 4.1.1 靜態(tài)檢測: 生產(chǎn)設(shè)備安裝完畢,且正常運(yùn)行但無人員工作狀態(tài)下檢測。

 4.1.2 動(dòng)態(tài)檢測: 生產(chǎn)設(shè)備安裝完畢正常運(yùn)行,且工作人員正常工作狀態(tài)下檢測。

 4.2檢測周期: 無塵室2次/周。作業(yè)面區(qū)域2次/周，F(xiàn)FU過濾網(wǎng)檢測1次/年度，生產(chǎn)依據(jù)檢測排查結(jié)果，開出工　    　程需求申請單，請購濾網(wǎng)進(jìn)行更換。 注：CCM及三星專線無塵車間為每日點(diǎn)檢。

 4.3無塵車間人數(shù)規(guī)定，按每3m2最多只能容納1人計(jì)算；比如：100m2的車間，最多只能容納33人, 每天進(jìn)入無    　塵車間人員需做清點(diǎn)及統(tǒng)計(jì)，并記錄于《無塵室人數(shù)點(diǎn)檢表》中，超出空間限制人員數(shù)量時(shí)應(yīng)由無塵室管理    　  禁止及進(jìn)入。(參考國標(biāo)GB 50073-2001) 。

 4.4 檢測方式:

 4.4.1 檢測時(shí)使用采樣量大于1L/min的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。

 4.4.2測量時(shí)位于工作區(qū)的高度(距離地面高度約0.8m)處進(jìn)行檢測。  

 4.4.3測量時(shí)間最少為1min。

 4.5 檢測異常處理：     灰塵度檢測人員對檢測結(jié)果進(jìn)行判定，如檢測結(jié)果超出標(biāo)準(zhǔn)，無塵室管理部開出《無　     　  塵室檢測異常 聯(lián)絡(luò)單》，要求產(chǎn)線和相關(guān)部門進(jìn)行改善，改善后再進(jìn)行生產(chǎn)。

 4.6 檢測方法要求：      

 4.6.1參考：  ISO 14644-1/2  NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom  

 4.6.2潔凈室的測試點(diǎn)以不少于總面積開平方根的數(shù)量來均勻劃分。 （例如：1000平米車間至少需32個(gè)檢測點(diǎn)）

 4.6.3取樣量為每分鐘1個(gè)立方英尺,取樣時(shí)間為一分鐘。

 4.6.4在每個(gè)點(diǎn)的中心最小取一分鐘，高度在0.8米左右. （靠近人員實(shí)際作業(yè)區(qū)域）

 4.6.5當(dāng)有障礙物時(shí)采樣點(diǎn)放在障礙物12 英寸上面

 4.7 檢測等級判定：

 4.7.1本司檢測設(shè)備檢測量為2.83L/min(即0.1ft/min)。

 4.7.2依據(jù)FS-209E/GB50073-2001標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢測判定,即1ft的空間里面含有≥0.5um 落塵的數(shù)量即為多少等　       　  級,　 也可依1m3空間來計(jì)算,換算公式為1 m3=1000L。例: 現(xiàn)設(shè)備檢測1min, ≥0.5um的落塵顯示數(shù)值為 　      87。即為: 在0.1ft空間內(nèi)有87個(gè)≥0.5um的落 塵=1ft空間內(nèi)有870個(gè)≥0.5um的落塵。依標(biāo)準(zhǔn)判定無塵室等      　 級為870級。

 4.7.3  FS-209E標(biāo)準(zhǔn)的空氣中懸浮粒子潔凈度等級(ft & m3比對表)

 4.8 FFU濾網(wǎng)檢測：參考：  ISO 14644-3：  注1：潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境----第3部分：計(jì)量和測試方法。

4.8.1檢測頻率：  

4.8.2更換周期為1次/1年(依據(jù)檢測結(jié)果而定)。

4.8.3 測試方法  

4.8.3.1對于每個(gè)2`X4`過濾器, 距離其表面150MM處均勻取2個(gè)讀數(shù)

4.8.3.2對于每個(gè)4`X4`過濾器, 距離其表面150MM處均勻取4個(gè)讀數(shù)

4.8.3.3平均風(fēng)速：0.45 m/s ± 20%

4.9 無塵室壓力管控  

4.9.1《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001  6.2.2 規(guī)定不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓　      　  差，　應(yīng)不小于5pa，潔凈區(qū)與室外的壓差應(yīng)不小于10pa.注：本司按實(shí)際情況而定。

4.10無塵室溫濕度標(biāo)準(zhǔn)：  參考《車間條件環(huán)境規(guī)定》。由溫濕度記錄表記錄，各現(xiàn)場單位負(fù)責(zé)更換記錄表和　    　  保　存資料，其精確度由實(shí)驗(yàn)室定期校驗(yàn)。