無塵室環境檢測標準

1. 目的  

　規范無塵室內環境檢測方法及判定作業。

2. 范圍  

　適用于公司所有無塵室的環境檢測作業。

3.職責

 3.1 無塵室管事部: 負責無塵室的定期檢測及檢測數據的統計分析,無塵室檢測異常的提出。

 3.2 生產部: 負責對無塵室的日常維護及保養。

 3.3 機電部:負責無塵室高效及低效過濾網的更換及維修。

 3.4設備部：負責無塵室的定期保養,新過濾網的請購。

4.內容  

 4.1 無塵室落塵檢測：

 4.1.1 靜態檢測: 生產設備安裝完畢,且正常運行但無人員工作狀態下檢測。

 4.1.2 動態檢測: 生產設備安裝完畢正常運行,且工作人員正常工作狀態下檢測。

 4.2檢測周期: 無塵室2次/周。作業面區域2次/周，FFU過濾網檢測1次/年度，生產依據檢測排查結果，開出工　    　程需求申請單，請購濾網進行更換。 注：CCM及三星專線無塵車間為每日點檢。

 4.3無塵車間人數規定，按每3m2最多只能容納1人計算；比如：100m2的車間，最多只能容納33人, 每天進入無    　塵車間人員需做清點及統計，并記錄于《無塵室人數點檢表》中，超出空間限制人員數量時應由無塵室管理    　  禁止及進入。(參考國標GB 50073-2001) 。

 4.4 檢測方式:

 4.4.1 檢測時使用采樣量大于1L/min的光學粒子計數器。

 4.4.2測量時位于工作區的高度(距離地面高度約0.8m)處進行檢測。  

 4.4.3測量時間最少為1min。

 4.5 檢測異常處理：     灰塵度檢測人員對檢測結果進行判定，如檢測結果超出標準，無塵室管理部開出《無　     　  塵室檢測異常 聯絡單》，要求產線和相關部門進行改善，改善后再進行生產。

 4.6 檢測方法要求：      

 4.6.1參考：  ISO 14644-1/2  NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom  

 4.6.2潔凈室的測試點以不少于總面積開平方根的數量來均勻劃分。 （例如：1000平米車間至少需32個檢測點）

 4.6.3取樣量為每分鐘1個立方英尺,取樣時間為一分鐘。

 4.6.4在每個點的中心最小取一分鐘，高度在0.8米左右. （靠近人員實際作業區域）

 4.6.5當有障礙物時采樣點放在障礙物12 英寸上面

 4.7 檢測等級判定：

 4.7.1本司檢測設備檢測量為2.83L/min(即0.1ft/min)。

 4.7.2依據FS-209E/GB50073-2001標準進行檢測判定,即1ft的空間里面含有≥0.5um 落塵的數量即為多少等　       　  級,　 也可依1m3空間來計算,換算公式為1 m3=1000L。例: 現設備檢測1min, ≥0.5um的落塵顯示數值為 　      87。即為: 在0.1ft空間內有87個≥0.5um的落 塵=1ft空間內有870個≥0.5um的落塵。依標準判定無塵室等      　 級為870級。

 4.7.3  FS-209E標準的空氣中懸浮粒子潔凈度等級(ft & m3比對表)

 4.8 FFU濾網檢測：參考：  ISO 14644-3：  注1：潔凈室及相關受控環境----第3部分：計量和測試方法。

4.8.1檢測頻率：  

4.8.2更換周期為1次/1年(依據檢測結果而定)。

4.8.3 測試方法  

4.8.3.1對于每個2`X4`過濾器, 距離其表面150MM處均勻取2個讀數

4.8.3.2對于每個4`X4`過濾器, 距離其表面150MM處均勻取4個讀數

4.8.3.3平均風速：0.45 m/s ± 20%

4.9 無塵室壓力管控  

4.9.1《潔凈廠房設計規范》GB50073-2001  6.2.2 規定不同等級的潔凈室以及潔凈區與非潔凈區之間的壓　      　  差，　應不小于5pa，潔凈區與室外的壓差應不小于10pa.注：本司按實際情況而定。

4.10無塵室溫濕度標準：  參考《車間條件環境規定》。由溫濕度記錄表記錄，各現場單位負責更換記錄表和　    　  保　存資料，其精確度由實驗室定期校驗。