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潔凈室各項指標的檢測方法、程序法則、判定標準潔凈室的檢測主要分為： 一、風量和風速的檢測 二、靜壓差的檢測 三、潔凈度的測定 四、微生物粒子的檢測 五、安裝高效空氣過濾器后的檢漏 六、污染泄露測試 七、氣流流型試驗 八、自凈時間測定 九、溫度及相對濕度檢測 十、照度檢測 十一、 噪聲檢測 十二、 防靜電地面導電性能測定 一、風量和風速的檢測 風量和風速的檢測必須首先進行，凈化空調的各項效果必須是在設計風量和風速的條件下獲得。 1. 測前準備工作 風量檢測前必須檢查風機運行是否正常，系統中各部件安裝是否正確，有無障礙（如過濾器有無被堵、檔），所有閥門應固定在一定的開啟位置上，并且必須實際測量被測風口、風管尺寸。 2. 單向流潔凈室的風量測量 垂直單向流及水平單向流潔凈室，目前均采用截面平均風速與截面面積的成績計算風量，關于截面的取法和測點的布置如下表
3．非單向流（亂流）潔凈室的風量測定： 非單向流（亂流）潔凈室的風量可以用風管法和風口法兩種方法測量，關于截面取法和測點布置見下表
評定：a．系統的實測風量應大于各自的設計風量，但不應超過20%。 b．總實測新風量和設計新風量之差，不應超過設計新風量的±10%。 c．室內各風口的風量與各自設計風量之差均不應超過設計風量的±15%。
二、靜壓差檢測 此項檢測的目的是為了測定潔凈室的靜壓差，它可以是正壓或者負壓，以防止潔凈室內外氣流間的相互影響。 1． 檢測要求 （1） 靜壓差的檢測要求要在潔凈室內所有的門窗全部關閉的情況下進行 （2） 在潔凈平面上應從潔凈度由高到低的順序依次進行，一直檢測到直通室外的房間 （3） 測管口設在室內沒有氣流影響的任何位置均可，測管口面與氣流流線平行 （4） 所測量記錄的數據應精確到0.1Pa 2． 檢測步驟： （1） 先關閉所有的門窗 （2） 用微壓計測量各潔凈室之間、潔凈室與走廊之間、走廊與外界之間的壓差。 （3） 記錄所有數據 3． 合格標準 按照潔凈室的設計和工藝的要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。 （1） 不同等級的潔凈室或潔凈區與非潔凈區（室）之間的靜壓差，應不小于5Pa。 （2） 潔凈室（區）與室外的靜壓差應不小于10Pa （3） 對于空氣潔凈度等級高于5級（100級）的單向流潔凈室在開門時，門內0.6m處 的室內工作面含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度極限值。 （4） 若達不到上述要求，則需重新調整新風量、排風量，直至合格為止 三、潔凈度測定 《潔凈室施工及驗收規范》（JGJ71-90）中規定如下： 1． 檢測規則 （1） 測定潔凈度的最低限度采樣點睡按下表規定確定。每點采樣次數不低于3次，各點 采樣次數可以不同
（3） 對于單向流潔凈室，采樣口應對著氣流方向；對于亂流潔凈室，采樣口宜向上。采 樣速度均應盡可能接近室內氣流速度。也即參考“等速采樣” （4） 潔凈室測點的布置原則是：多于5點時可分層布置，但每層不少于5點；5點或5 點以下時，可布置在離地面0.8m高平面的對角線上（如下圖），或該平面上的兩個過濾器之間的地點，也可以在人為需要布點的其他地方。
2． 數據整理 室內潔凈度按公式計算室平均含塵濃度N和各測點平均含塵濃度的標準誤差 3． 評定標準如測定的狀態（空態、靜態、動態）與事先約定的狀態相同，則以其級別上限 作為評定標準。 如測定時為空態或靜態，則動態時粒子數一定會高。所以，如用靜態檢測代替動態檢測則粒子數會偏小，有時可以用靜態粒子數的3-5倍來估計動態情況。當然這也僅是經驗參考值 4． 注意事項 測定時進入潔凈室的人員要穿潔凈服（有風淋室要經過風淋），在室內盡量處于下風處，最多進入兩人。 粒子計數器一般均有一個開機后預熱穩定的過程（時間因機型而異）注意按儀表說明書操作。 一般粒子計數器均有“粒子校準”這一旋鈕，在使用前必須校準，使用一段時間（例如連續使用0.5-1h）后均需進行檢查。嚴禁故意將靈敏度調低的不正當做法 每個測點測完后需要移機（或移動采樣口）時，要有一個穩定過程，一般為1-5分鐘，也可以將移機后前幾次打印結果棄去。 有研究結果表明打印機本身的動作有一定的產塵量，故在測量高級別潔凈室時，要考慮到打印機紙張發塵的影響。建議選取可存儲數據的儀器，實驗結束后再把結果打印出來；或將連線延長，將打印機置于被測潔凈室外。 在粒子計數器中反應得粒徑，知識“光散射等效粒徑”，因為計數器時用潔凈大氣塵密度的聚苯乙烯小球（標準粒子）來標定的。所以在實例中凡是與某種直徑標準粒子的光散射特性相同的灰塵就被記錄為該粒徑的粒數，而不能真正代表該灰塵的真實外形和理化性能，而這個方面，還得在采樣后靠顯微鏡（電子顯微鏡）和微量（痕量）理化分析來解決。 目前的粒子計數器都存在一個“上限濃度”的問題，由于儀器本身構造的原因，如抽氣流速過大，會有可能兩個或多個粒子同事進入散射光區域，此時會合并基礎一個粒徑偏大的粒子，從而造成測量的重疊誤差。如實測環境含塵量超過上限濃度，則應采用稀釋器稀釋后再測。 四、微生物粒子檢測 本實驗室不涉及微生物粒子檢測，此處不做詳述 五、安裝高效過濾器的檢漏 高效過濾器本體在進入現場前，生產廠家應按規定對其進行性能試驗（其檢測方法如DOP試驗、NaCl試驗、油霧試驗等），并提供合格證（含性能檢測結果）。 對于5級（100級）以上潔凈室用高效過濾器、超高效過濾器在現場應再次進行高效過濾器本體及其正確安裝狀態進行泄露試驗。對于6級及以下的生物潔凈室也用此方法啊檢漏。而在大規模集成電路生產的超凈技術中（0.1μm，1級），由于新風量往往是循環風量的百分之幾，經過稀釋上風側也變成6級（1000級）的程度，因此，在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗。 1． 檢測要求 一般采用離子計數器法進行檢測，被檢高效過濾器必須已檢測過風量，并在設計風速的80%-120%之間運行。實測時很多設計風量不到過濾器額定風量的80%，由于過濾器在低風速下泄露比例會加大，數據偏安全，有時不必再加大風量。對于被檢高效過濾器上風側的微粒濃度符合如下要求。對于受控粒徑≥0.5μm的濃度，必須≥3.5x104pc/L;對受控粒徑≤0.5μm的濃度，必須≥3.5x106 ~ 107pc/L 2． 檢測方法 采用掃描法對高效過濾器安裝接縫和主斷面進行檢測，檢測點應距離被測表面20~30mm，測頭以5~20mm/s的速度移動，對被測過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架處進行掃描。 3． 評定標準 由受檢過濾器下風側測得泄露的濃度換算成穿透率，高效過濾器不應大于出廠合格穿透率的兩倍，對于D級超高效過濾器不應大于出廠合格穿透率的3倍 六、污染泄露測試 此項測試時為考慮與軌跡接軌而規定的。它要求，有空洞想通不同潔凈度等級的相鄰潔凈室，其洞口處應有合理的流向，且其風速應該大于0.2m/s。 七、氣流流行試驗 1． 測點位置 對于單向流潔凈室，在每個所測截面上測點間距為0.2~1m，垂直單向流要取四個截面：潔凈室縱剖面，橫剖面及距地0.8m、1.5m兩個水平面。水平單向流要求5個截面：潔凈室縱剖面、工作區水平面、房間中心線距離送、回風墻0.5m的3個橫剖面。對非單向流需要取三個測點截面：具有代表性的送、回風口中心的縱、橫剖面和工作區高度的水平面 2． 測定方法 用發煙器或懸掛細絲線的方法逐點觀察和記錄氣流流向；用量角器測定氣流流向的偏離角度。在每個截面的測點布置圖上標出氣流流向。 3． 判定標準 工作區氣流流向偏離規定方向的角度最好不大于14度，應給出氣流流型圖，并給出分析結果 八、自凈時間的測定 1． 以大氣塵為基礎測量時，潔凈室必須停止運行一段時間（條件允許可開門開窗）。 待空氣中含塵濃度與大氣接近時，然后開機，定時讀數。直到濃度達到最低穩定值為止，這一段時間即為自凈時間。 2． 以人工塵（例如芭蘭香和香煙）為基準則在潔凈室中央1.8m以上的高度發煙1~2 分鐘即停止，再穩定一分鐘，然后開機重復上條方法檢測。 3． 合格標準 實測自凈時間如不大于由初始濃度、穩定下限濃度、實際換氣次數、計算得出的理論計算濃度的1.2倍即為合格。 九、溫度及相對濕度檢測 1． 檢測要求 （1） 測定前，凈化空調系統應連續運行24h以上。 （2） 根據溫度和相對濕度的波動范圍要求，應選擇足夠精度的測試儀表，并經過校 驗標定合格 2． 檢測方法 （1） 測點距地面0.8m，距外墻應大于0.5m，也可以根據恒溫區的大小，分別布置 在離地面不同高度的幾個平面上 （2） 根據溫濕度波動范圍要求，檢測應連續進行8~48h，每次讀數間隔不大于30 分鐘 （3） 對于沒有恒溫要求的房間，溫度僅測房間中心一個點即可。 （4） 對有濕度波動要求的區域，測點應放在送、回風口處或有代表性的地點。其測 點數按下表確定
十、照度檢測 1． 檢測要求 室內照度測定必須在室溫已趨穩定，光源輸出趨于穩定后進行（對熒光燈必須有100h）。 2． 檢測方法 （1） 測點平面離地面0.85m，按間距1~2m布點，測點距墻面1m。其要求基本與潔 凈度的測定位置要求相同 （2） 記錄，在簡圖上設測量位置，記錄實測照度值并計算總的平均照度。 （3） 照度測定一般僅測定除局部照明之外的一般照明 3． 檢測儀器：便攜式照度計 4． 合格標準 符合設計要求或符合GB50073-2001《潔凈廠房設計規范》中對潔凈室的照度值的明確規定（該規范中的表9.2.3）。潔凈室內一般照明的照度均勻度不應小于0.7. 十一、噪聲檢測 噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級計，一般情況下值檢測A聲級的數據，必要時 測倍頻程聲壓級。 1． 檢測方法 （1） 檢測點布置，當面積≤50m2時，只測房間中心一個點；當房間面積較大時，每 增加50m2增測一個點，測點距離地面1.1m （2） 有條件時，宜測量潔凈室靜態工況的噪聲和潔凈室的本底噪聲。 2． 合格標準 符合設計要求或按《潔凈廠房設計規范》GB50073-2001中的規定，在空態情況下，非單向流潔凈室的噪聲級不應大于50dB（A），單向流、混合流潔凈室的噪聲級不應大于65dB（A）。潔凈室的噪聲頻譜限制的各頻帶聲壓級值不應大于《潔凈廠房設計規范》表4.4.2的規定。 十二、防靜電地面導電性能測試 1． 檢測設備：采用符合精度要求的高阻計 2． 檢測方法：在測試表面上選擇比較有代表區域的兩個點，用導線把高阻計和兩個銅 圓柱形電極連接起來進行測量，其表面電阻和泄漏電阻值可以按下圖所示的測試裝置測量。 3． 合格標準 （1） 地面的面層應具有導電性能，并能夠長時間穩定。 （2） 表面電阻率應為1.0x105~1.0x1012Ω，或體積電阻率為1.0x104~10x1011Ω/cm；泄 漏電阻值應為1.0x105~10x109Ω
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測量注意事項：在測量風速時宜采用支架固定測夾；不得不用手持風速儀時，手臂要盡量伸直使測頭遠離身體（側方或下游）以減少人身干擾。
（2） 測定潔凈度的最小采樣量按下表規定確定 
3． 合格標準 室溫波動范圍按各測點的各次溫度中，偏差控制溫度的最大值整理成累計統計曲線，若90%以上測點偏差值在室溫控制范圍內，為符合設計要求，反之為不合格。相對濕度波動可按溫度波動范圍的規定進行。 